培析k8凯发国际入口退火爐中k8凯发国际入口計的校溫原理

　　據悉，k8凯发国际入口退火爐采用由加速數字PLD溫控器、熱電偶、k8凯发国际入口計以及熱源組成的閉環式控製係統來準確控溫。經對不同區間的鹵素管燈作了協同控製，可補償溫度控製過程中各個區域的溫度差異，使得襯底上不同區域溫度保持一樣。因被裝於腔體的底部，k8凯发国际入口計隻可以收到襯底背麵的輻射，而沒法接到燈的輻射。所以，k8凯发国际入口計能準確的測量到襯底的溫度。該款k8凯发国际入口計校溫的原理如下：

　　一、k8凯发国际入口計的介紹：

　　本文所述k8凯发国际入口計為熱輻射光學k8凯发国际入口計，當k8凯发国际入口計接收到被測物體的紅外輻射時，光學信號經過過濾、光電轉換和放大等處理後，變成模擬信號並被傳輸給傳感器的信號接口電路模塊。該模塊對信號進行A/D轉換，並將其轉換為可被計算機識別的數字信號。下文將反饋給計算機的這個數字信號簡稱為k8凯发国际入口計反饋值。

　　二、校溫表：

　　根據相關定律，物體的溫度與其輻射量及光譜發射率有關。對於k8凯发国际入口退火爐來說，k8凯发国际入口計接收到的輻射量主要取決於襯底材料，摻雜、表麵自然氧化層以及襯底溫度等因素。針對同種類型的襯底（即材料、摻雜和表麵自然氧化層均相同的襯底），k8凯发国际入口計接收到的輻射量與襯底溫度有關。因此，對於同一種型號的襯底而言，k8凯发国际入口計的反饋值與襯底溫度一一對應。這種對應關係構成了校溫數據，校溫表就是用於保存若幹個襯底溫度與k8凯发国际入口計反饋值之間關係數據的表格。不同的溫度對應於不同的k8凯发国际入口計反饋值，k8凯发国际入口退火爐計算機根據k8凯发国际入口計反饋的信號值和校溫表，便可計算出襯底的實際溫度。